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アドバンスト・テクノロジー・プログラム(ATP) 先端機能材料
T1.微細パターン化技術と材料の織成す未来像
  • A.次世代リソグラフィ,B.ナノインプリント,C.自己組織化による微細パターン形成

セッションオーガナイザー:古澤孝弘(阪大産研・准教授)
松井真二(兵庫県大高度産業科学技術研・教授)
関 隆広(名大院工・教授)
 

 現在の情報化社会を支える半導体製造分野では、微細化(高集積化)のための露光源の短波長化が推し進められ、波長193nmのArFエキシマーレーザーと液浸技術を組み合わせた液浸リソグラフィの次は 「次世代リソグラフィ」技術として、ダブルパターニング技術やExtreme Ultraviolet (EUV、13.5nm)光を露光源としたEUVリソグラフィが期待されている。特に、EUVリソグラフィでは、光のエネルギーが材料のイオン化エネルギーを超え電離放射線領域に入るため、新たな反応系を利用した新規材料の創出が期待されている。さらに、過去半世紀の光リソグラフィ開発の流れとは一線を画する「ナノインプリント」や「自己組織化による微細パターン形成」が近年注目を集めている。「ナノインプリント」はリソグラフィ技術で克服すべき課題の一つであるラインエッジラフネス(LER)パターンのナノ形状の制御において優位性を持ち今後の発展が期待されている。「自己組織化による微細パターン形成」は分子の自己組織化現象を応用したもので、現行の半導体製造装置を流用でき、高コストの製造装置が不要な上,製造プロセスを大きく変える必要がないのでリスクが少ないというメリットがあり、アプリケーションへの適用範囲が広く注目されている技術である。近年では、リソグラフィ技術あるいはナノインプリントで作製した“ガイド”を利用した、高度な自己組織化パターンの制御が注目を集めている。

「次世代リソグラフィ」のセッションでは、ダブルパターニング技術、EUVリソグラフィ等の最先端超ファインパターン形成技術の近年の進展を概説するとともに、Seleteでの露光機の立ち上げにより開発・評価が進んでいるEUVレジストを中心に、近年、多様性が増してきた次世代分子レジスト、新規化学増幅・非化学増幅レジスト等のレジスト材料開発の最先端を紹介する。22nm以下の解像度における高感度加工の実現に向け、材料設計・開発のための戦略を議論する場を提供したい。

「ナノインプリント」のセッションでは、これまでの半導体リソグラフィプロセスとは全く異なる超ファインパターン形成技術であるナノインプリントの材料・プロセス・装置の最近の進展とデバイス応用展開について紹介する。まず、ナノインプリント研究の世界的動向について、紹介し、材料・プロセスの研究開発最前線、量産化装置開発の現状、さらに量産化が、確実視されているアプリケーションへの応用事例について紹介し、本分野の現状と将来について活発に議論する場を提供したい。

「自己組織化による微細パターン形成」は、分子集合体やブロック共重合体、あるいは有機無機複合体の規則的な自己組織化、外部刺激による自発的なパターン形成に基づく方法であり、高額な装置を用いる必要が無いことが大いに魅力的であり特徴である。さらに、このアプローチでは単なる微細描画だけでなく、用いる材料系の化学的特性により、多様な新機能を付加できることも可能である。上記の二つのセッションの技術と比較すると、この技術は基礎的な萌芽・探索段階にあり、その利用の可能性と実用化は今後の努力に委ねられている。現状と問題点などが活発に議論できる場が提供できれば幸いである。

  • A.次世代リソグラフィ
    • 基調講演
      • 半導体リソグラフィの将来展望と挑戦(東芝研究開発センター リソグラフィプロセス技術開発部・部長)東木 達彦
    • 招待講演
      • ラジカル逐次反応を活用するEUV用ネガ型レジスト(阪府大院工・教授)白井 正充
      • noriaを基盤としたEBおよびEUV分子レジストの開発(神奈川大工・准教授)工藤 宏人
      • EUV光による干渉露光(兵県大高度産業科学技術研・准教授)渡邊 健夫
      • EUVレジストプロセス開発状況(半導体先端テクノロジーズ・主管研究員)井谷 俊郎
    • 依頼講演
      • JSRにおけるEUVリソグラフィー材料の開発 -現状と今後-(JSR精密電子研究所 半導体材料開発室・主査)木村 徹
      • 次世代リソグラフィ用材料開発の現状(東京応化工業 開発本部 次世代材料開発部・部長)佐藤 和史
      • ネガ現像用ArF液浸レジスト材料の開発(富士フイルム エレクトロニクスマテリアルズ研究所・主任研究員)樽谷 晋司
      • 次世代リソグラフィ用材料の設計指針(阪大産研・准教授)古澤 孝弘
  • B.ナノインプリント
    • 基調講演
      • ナノインプリント技術の未来像(兵県大高度産業科学技術研・教授)松井 真二
    • 招待講演
      • 光ナノインプリントプロセスシミュレーション(阪府大院工・教授)平井 義彦
      • 光ナノインプリントプロセス(産総研 先進製造プロセス・主任研究員)廣島 洋
      • ナノインプリント密着層および離型層の材料化学(東北大多元研・教授)中川 勝
      • 光ナノインプリントを応用した光通信用レーザの回折格子作製プロセス(住友電工 伝送デバイス研究所 次世代プロセス研究部)柳沢 昌輝
    • 依頼講演
      • 樹脂モールドを用いた高輝度LED用ナノインプリントプロセス(東芝機械 ナノ加工システム事業部・グループマネージャー)西原 浩巳
      • 光ナノインプリント用樹脂モールド(綜研化学NIP製品プロジェクト・主査/工学博士)三澤 毅秀
      • 光ナノインプリント用樹脂の特性評価(ダイセル化学工業 有機合成カンパニー・主席研究員)三宅 弘人
    C.自己組織化による微細パターン形成
    • 基調講演
      • 高分子ミクロ相分離のナノ構造制御とテンプレート物性工学(東工大資源研・教授)彌田 智一
    • 招待講演
      • 自己組織化材料の大容量記録媒体への応用(東芝研究開発センター 記憶材料・デバイスラボラトリー・研究主幹)木原 尚子
      • 16nm技術ノードに向けたブロック共重合体リソグラフィ(NTT物性科学基礎研・主任研究員)山口 徹
      • 高分子ブロック共重合体のchemically directed self-assemblyによる高密度パターン形成(日立材料研・主管研究員)吉田 博史
      • ガイドによる3成分トリブロック共重 合体の自己組織化構造制御(京大院工・教授)長谷川 博一
      • アルミナナノホールアレーのもとづく微細構造の形成と機能化(首都大院都市環境・教授)益田 秀樹
    • 依頼講演
      • ブロック共重合体表面ミセルの高精度形成と応用(名大院工・さきがけ/JST)永野 修作
      • 可動な微細なシワ:マイクロリンクル(産総研ナノテクノロジー・研究員)大園 拓哉
      • ナノドットアレイ技術(王子製紙 研究開発本部 基盤技術開発研究所・上級研究員)篠塚 啓
      • コアシェル型粒子の自己組織化による表面ナノポア形成(慶大院理工・教授)藤本 啓二

T2.ディスプレイ材料の開発最前線
  • A.OLED,B.電子ペーパー

セッションオーガナイザー:鎌田俊英(産総研光技術・研究グループ長)
小林範久(千葉大院融合科学・教授)
 

ディスプレイに関する技術革新は著しく、ディスプレイ市場の構造は激しく変わりつつある。中でも次世代ディスプレイとして有機EL(OLED)の研究開発が活発におこなわれ、テレビやモバイルディスプレイに実用化が進んでいる。また、従来の紙媒体の代替えとして、電子ペーパー、フレキシブルディスプレイの研究も活発に実施され、様々な方式が提案されて一部は製品としてすでに上市されるに至っている。

本セッションでは、OLED、電子ペーパーの2つのサブセッションを設け、未来のディスプレイ開発の現状と技術課題、それを支える材料、部材、デバイスやプロセス技術の最新技術動向について討論する。また、今回はOLEDサブセッションにおいては、プリンタブルエレクトロニクスやOLED照明にまで広げて発表していただき、未来技術の可能性について活発に討論する場を提供したい。

  • A.OLED
    • 基調講演
      • 有機ELの将来展望(山形大工・教授)城戸 淳二
    • 招待講演
      • 塗布・印刷技術で作製する有機EL素子(富山大院理工・教授)岡田 裕之
      • 超希薄溶液濃縮スプレイ法(ESDUS)による有機ELの作製(九大先導研・准教授)藤田 克彦
      • 新分子で先導する有機エレクトロニクス研究(東大院理・教授)中村 栄一
      • 塗布型有機半導体材料の開発(広島大院工・教授)瀧宮 和男
    • 依頼講演
      • 高分子OLED材料の動向(住友化学 筑波研究所 有機EL開発グループ・グループマネージャー)山田 武
      • リン光性高分子材料における電荷輸送性の制御と素子への応用(NHK技研)本村 玄一
      • 共役ポリマーによる印刷技術で作製する有機発光・受光素子(阪大先端科学イノベーションセンター・助教)梶井 博武
      • 有機EL素子作製のためのノズルプリンティング技術(大日本スクリーン製造)塩田 明仁
      • 有機EL素子作製のためのスリットコート技術(タツモ 開発部・次長)山本 稔
      • インクジェット技術とその応用展開(ブラザー工業 技術開発部・チームマネージャー)井上 豊和
      • 有機EL照明の開発動向と将来展望(パナソニック電工 先行技術開発研究所・技監)菰田 卓哉
      • 有機EL照明の基盤技術(名大院工・准教授)森 竜雄
      • 白色有機ELパネル技術とその事業化展開(東北デバイス・取締役副社長)赤星 治
      • 安定な高性能有機半導体材料の開発(メルク)川俣 康弥
      • 印刷デバイス作製の低温プロセス化技術(産総研光技術・主任研究員)吉田 学
      • オールウエットプロセス有機TFTアレイ駆動による有機ELパネル(パイオニア)中馬 隆
      • 高精細印刷有機TFT技術(リコー研究開発本部・スペシャリスト研究員)田野 隆徳
    B.電子ペーパー
    • 招待講演
      • 電子ペーパーの研究・開発動向(東海大工・教授)面谷 信
      • リライタブル記録と電子ペーパーの最新動向(リコー・グループリーダー)堀田 吉彦
    • 依頼講演
      • フレキシブル液晶ディスプレイの研究開発(NHK技研・主任研究員)藤掛 英夫
      • 視覚特性と電子ペーパーの見え(千葉大院融合科学・助教)溝上 陽子
      • シロキサン系ポリマーを用いたデバイス特性の向上(広島大院工・准教授)今栄 一郎
      • 電子ペーパーの業務への応用(ブラザー工業 NID開発部・プロジェクト・マネージャー)藤井 則久
      • 電子ペーパー QR-LPD(ブリヂストン 化工品技術本部 電子ディスプレイ開発部・ユニットリーダー)増田 善友
      • 電子ペーパーの駆動とバックプレーン技術(九大産学連携センター・教授)服部 励治
      • 紙だからできること,紙だから表現できる魅力(竹尾)栗原 耕治

T3.フォトニクス材料・デバイスがもたらすFace-to-Faceコミュニケーションの世界
  • A.通信ネットワーク,B.光システム,C.ポリマー光ファイバー,D.ディスプレイ,E.光トランシーバー

セッションオーガナイザー:小池康博(慶應大理工・教授)
西井準治(北大電子研・教授),
横山士吉(九大先導研・教授)
 

 シリコンバレーからうまれたインターネットは社会を大きく変えたが、便利になればなるほど、「小画面とキーボードから抜け出せない」「人が技術に合わせなくてはならない社会」であるように思われる。それに対し、圧倒的なビットレートと、圧倒的な高画質・大画面ディスプレイが開発されると、家庭にいながら離れた人達と、臨場感溢れるFace-to-Faceコミュニケーションが実現する。そのキーとなるイノベーションはフォトニクスであり、それを支える新しいフォトニクス材料・デバイスに熱い注目が寄せられている。

本セッションでは、フォトニクス材料・デバイスの最前線を1)通信ネットワーク、2)光システム、3)POF、4)ディスプレイ、5)光トランシーバーの観点から第一線でご活躍の招待講演者にお越し頂き、活発な議論の場としたい。またより深く参加者にご理解頂くため、講師の先生方との懇談を行える「インキュベーションタイム」や「講師の先生方によるパネルディスカッション」等を行いたいと考えている。

  • 基調講演
    • 液晶ディスプレイの新展開(東北大院工・教授)内田 龍男
  • 招待講演
    • 高精細ディスプレイと高速伝送(ソニー コアデバイス開発本部RF&VS開発部門UIシステム開発部・部付)瀧塚 博志
    • 宅内高速光ネットワークへ向けて(積水化学工業 環境・ライフラインカンパニー 新事業プロジェクト・課長)谷口 輝行
    • フォトニクスポリマーが拓く高精細ディスプレイ(慶大理工/JST ERATO ・グループリーダー/特別研究准教授)多加谷 明広
    • 低電力・超高速光変調器を目指した高効率電気光学ポリマーの開発(九大先導研・教授)横山 士吉
    • 光信号処理のための新光導波路材料(豊田工大院工・教授)大石 泰丈
    • ボード内チップ間波長多重光配線(産総研ネットワークフォトニクス研究センター・主任研究員)金高 健二
    • 共鳴・サブ波長光学素子の情報家電への応用(北大電子研・教授)西井 準治

T4.デジタルファブリケーションへの取り組み最前線
  • A.インクジェットプリントの産業用途への応用

セッションオーガナイザー:西 真一(コニカミノルタIJ・開発統括部長)

オンデマンドデジタル印刷には電子写真、インクジェットプリンティング技術が知られている。これらのデジタル印刷技術をどのような分野に展開していこうとしているのかを、現状と共に将来への検討状況をみたい。

特に小液滴から大液滴を高精度に着弾させることが可能なインクジェット技術は、種々の分野への展開が期待されている。特に産業用途への展開はカラーフィルター製造が良く知られている。しかしながら、他の用途で実際に採用を考えられている例は従来の画像を描画する大判プリンターであり、紙だけでなく塩ビやポリエステル等のフィルムや木綿、絹、ポリエステル布帛等にも用途が拡大されているが、インクは染料や顔料である。種々の分野への応用が期待されているインク材料とその特性と期待される用途を具体的に検討している例の紹介から、今後のデジタルファブリケーションの展開可能性を考えたい。分野としてはエレクトロニクス、医療、印刷等への応用例の紹介がある。

  • 基調講演
    • デジタル・バイオ・ファブリケーション:ポストiPS細胞時代を拓く技術(富山大院理工・教授)中村 真人
    • 大面積プリンティドエレクトロニクスへの道(阪大産研・教授)菅沼 克昭
  • 招待講演
    • ナノメタル分散インクによる導電性薄膜のインクジェ ット製膜法(アルバック 千葉超材料研究所・専門部長)小田 正明
    • 商業印刷向け高速インクジェットプリントシステムにおける材料開発(富士フイルム)小田 晃央
    • デジタルプリント技術の産業分野への応用展開(大日本スクリーン製造)鶴谷 佳憲
    • デジタルファブリケーションの医療への応用(阪大院歯・教授)荘村 泰治

T5.物質・エネルギー変換材料
  • A.生体触媒,B.ナノパーティクルテクノロジー

セッションオーガナイザー:増田秀樹(名工大院工・教授)

21世紀に突入してから、環境問題やエネルギー問題の解決が取りざたされ、化学の分野でも急に、グリーンケミストリーとかサスティナブルケミストリーという言葉が良く使われるようになった。「環境に負担をかけない持続可能な化学」を推進しよう、というわけである。その観点から物質やエネルギーの変換に酵素や微生物(生体触媒)を利用するバイオテクノロジーやナノテクノロジーが注目されている。温和な条件下での選択性の高い反応が生体内だけではなく、フラスコや反応釜の中でも実現できることが示されているからである。また、最近、ナノテクノロジーの分野の中でも、ナノレベルになることによって触媒機能や新しい物性の発現などが見られ、ナノパーティクルテクノロジーへの期待が高まっている。

本セッションでは、近未来に期待される低環境負荷な材料として、生体触媒材料とナノパーティクルテクノロジーについて取り上げ、その最先端を行く先生方に講演をお願いし、我々化学者の向かうべき方向を議論したい。

  • A.生体触媒
    • 基調講演
      • 生きた微生物を利用するエネルギー変換システム:微生物燃料電池、微生物太陽電池(東大院工・教授)橋本 和仁
    • 招待講演
      • 生体触媒電極反応とバイオ電池(京大院農・教授)加納 健司
      • ソニーのバイオエレクトロニクス;バイオ電池の研究開発事例を中心に(ソニー 先端マテリアル研究所 バイオエレクトロニクス研究G・統括課長)戸木田 裕一
      • アクリルアミド生産に使われる酵素ニトリルヒドラターゼの反応機構(東農工大院工・准教授)尾高 雅文
      • 天然の触媒活性を超えるヘムタンパク質の創製をめざして(阪大院工・教授)林 高史
    • 依頼講演
      • 酵素固定化とマイクロリアクタ(鹿児島大院理工・准教授)有馬 一成
      • 酵素の合理的進化と機能強化(岡山大院自然科学・准教授)依馬 正
      • 変異導入によるマルチ銅オキシダーゼの触媒機能の改変と創製(金沢大院自然科学・教授)櫻井 武
      • 異化型亜硫酸還元酵素のX線結晶構造解析(兵県大院生命理・助教)庄村 康人
  • B.ナノパーティクルテクノロジー
    • 基調講演
      • ナノ粒子技術:情報と触媒への応用(山口東理大工・教授)戸嶋 直樹
    • 招待講演
      • 金クラスター触媒による高難度反応の開拓(首都大都市環境・教授)春田 正毅
      • メタロデンドリマーによる新金属の創製(慶大理工・教授)山元 公寿
      • 高分子ナノ粒子ワクチン:新しいアジュバントの開発(阪大院工・教授)明石 満
      • 酸窒化物系ナノ粒子を用いる水の高効率光分解触媒の開発(東大院工・教授)堂免 一成
    • 依頼講演
      • ソリューションプラズマ利用したナノ粒子の合成と機能化(名大エコトピア・教授)齋藤 永宏
      • クラスター性ナノ金属種の無機表面で起こる化学事象の探索(北大院地球環境・教授)小西 克明
      • 集積型金属錯体ナノ粒子の合成と物性-複合金属ナノ材料前駆体としての活用(東農工大院工・特任准教授)山田 真実
      • 目的指向改変タンパク質によるナノ構造作製:ウエットナノテクノロジーの薦め(奈良先端大物質創成・教授)山下 一郎